光學(xué)微電子凈化工程
光學(xué)微電子凈化工程之界定
為將一定室內(nèi)空間范疇內(nèi)之空氣中的浮塵顆粒、危害氣體、病菌等之空氣污染物清除,并將房間內(nèi)之溫度濕度、潔凈度等級(jí)、房間內(nèi)工作壓力、氣旋速度氣旋遍布、噪聲振動(dòng)及照明燈具、靜電感應(yīng)操縱在某一要求范疇內(nèi),而所給于非常設(shè)計(jì)方案之密閉空間。
光學(xué)微電子凈化工程一般包含
1、清潔廠區(qū)
2、清潔輔助間(包含工作人員清潔用地、原材料清潔專室和一部分日常生活專室等)
3、工業(yè)園區(qū)(包含辦公室、值勤、管理方法和歇息等)
4、機(jī)器設(shè)備區(qū)(包含空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)用、電氣設(shè)備用地、工業(yè)純水和高純度氣用地、熱冷機(jī)器設(shè)備用地)
光學(xué)微電子凈化工程解決方案
凈化工程的設(shè)計(jì)過(guò)程中,應(yīng)提升對(duì)光學(xué)微電子制造行業(yè)凈化工程方案設(shè)計(jì)剖析掌握,依據(jù)該工程項(xiàng)目是在建工程項(xiàng)目或是是舊工業(yè)廠房改建工程,并融合其實(shí)際的生產(chǎn)工藝流程、生產(chǎn)工藝流程等規(guī)定明確其必須的潔凈度等級(jí)、溫度濕度。再依據(jù)該工程項(xiàng)目的詳細(xì)情況,另外也要充分考慮生產(chǎn)商的經(jīng)濟(jì)發(fā)展承受力,綜合性多種要素來(lái)明確選用哪種清潔計(jì)劃方案,那樣才可設(shè)計(jì)方案出一個(gè)能考慮招標(biāo)方生產(chǎn)制造應(yīng)用規(guī)定、工程預(yù)算有效、經(jīng)濟(jì)發(fā)展環(huán)保節(jié)能好用的計(jì)劃方案。
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